Мощный нагреватель для вакуумной установки осаждения разработал магистр Физтех-школы электроники, фотоники и молекулярной физики МФТИ. Прибор способен нагревать образцы из кремния до рекордных 600 °C. Установка будет использоваться для создания полупроводниковых структур при производстве наноэлектронных девайсов.
Рубрики