Минпромторг РФ направит около 1,4 млрд рублей на разработку отечественного оборудования для жидкостной химической обработки кремниевых пластин. Речь идёт об автоматизированной линии для травления, очистки и сушки пластин диаметром 100, 150 и 200 мм. Установка должна заменить американские и японские аналоги, которые сейчас используются на российских предприятиях.
Тендер на создание опытного образца уже размещён на портале госзакупок. По условиям закупки, установка должна обрабатывать пластины диаметром до 200 мм и принимать до 100 штук за цикл. Также она должна работать минимум с восемью химическими реагентами, включая плавиковую, серную и соляную кислоты, аммиак и перекись водорода.