Рубрики
Технологии

СМИ: «ЗНТЦ разработал установку электронно‑лучевой литографии по технологии 150 нм для фотошаблонов и спецмикросхем»

В России создана суверенная установка электронно‑лучевой литографии с проектными нормами 150 нм для выпуска чипов. Оборудование разработало АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ). Сейчас 2 опытных образца установки проходят комплексные испытания. Об этом сообщило издание Cnews со ссылкой на тендер по транспортировке установки. Тендер был опубликован в июне 2026 года. В документации ЗНТЦ указал, что нужен перевозчик для доставки опытного образца установки электронно‑лучевой литографии с проектными нормами 150 нм в рамках опытно‑конструкторской работы с шифром «Прогресс ЭЛЛ 150». Место отправления — Зеленоград, пункт назначения не раскрывается.

Читать далее