За 2024 и 2025 годы Китай выкупил почти 70% мирового выпуска иммерсионной литографии ASML и, по мнению вашингтонских аналитиков, санкции оставили лазейку размером с фабрику
Китайские производители чипов, по оценке вашингтонского Центра технологий и государственного управления (CTS), накопили 343 иммерсионных DUV-сканера ASML — машин, способных создавать схемы с разрешением, достаточным для 7-нм техпроцесса. Самая многочисленная модель — NXT:1980i: таких на китайских фабриках 270 штук. Ещё 28 — более продвинутые NXT:2050i и NXT:2000i. Диагноз CTS: Китай выкупил львиную долю выхода ASML по иммерсионной литографии в 2024–2025 годах, потратив более $13 млрд.
Экспортные ограничения, введённые Нидерландами в 2023 году на модели NXT:2000i и выше, проблему не закрыли. NXT:1980i под них не попала — и до сентября 2024 года уходила в Китай без лицензий. Даже после расширения санкций на эту модель отдельные поставки всё ещё могут получать одобрение. Результат: примерно 90 машин в 2024-м и 89 в 2025-м, или около 70% и 68% мировых продаж иммерсионных систем ASML за эти годы. CTS также указывает на доступность подержанных систем NXT:1980Di на вторичном рынке.
Логика санкций не оказалась эффективной. Ограничения писались в расчёте на то, что без EUV-литографии 7-нм узел недостижим. Но иммерсионный DUV вкупе с мультипаттернингом — многократным экспонированием — позволяет обойти этот барьер, хоть и ценой большего расхода пластин, времени и денег. А для Китая это — рабочий компромисс.
Авторы доклада предлагают жёсткий сценарий: полный запрет на экспорт любых иммерсионных DUV-систем в Китай и ограничения на поставки запчастей и обслуживание машин, уже установленных на передовых фабриках. Предложение лежит в русле двухпартийного законопроекта MATCH Act, внесённого в Конгресс в апреле. Доля Китая в выручке ASML, достигавшая 41% в 2024-м и 33% в 2025-м, во втором квартале 2026 года упала до 14% — но машины, купленные в быстром темпе, уже стоят в цехах.